方法包括：四点探针法、热波法、二次离子质谱仪
四点探针法用于计算薄片电阻，需要测量四次
四点探针法的缺点：接触式测量，会造成损伤

热播法用于测量掺杂浓度
热播法的优点：非接触、非破坏式测量
热播法的缺点：对低剂量掺杂灵敏度很低
二次离子质谱仪得特点：破坏性检测，很贵，所以仅用于关键步骤