现在市场上的MEMS陀螺仪主要有SYSTRON、BOSCH和INVENSENSE设计和生产。前两者设计的陀螺仪属高端产品,主要用于汽车。后者的属低端产品,主要用于消费类电子,象任天堂的Wii。ADI2003年宣布设计和制造出了Z轴陀螺仪ADXRS300,但是没有正式成为产品。下面主要介绍和比较三家公司的陀螺仪的设计、加工和性能。
一、Systron Donner “MICROGYRO”
MEMS传感器:双石英调音叉
信号处理:混合信号架构,数字和模拟输出;开放回路;两个用于加速度传感器的A/D通道
封装:MEMS封装在陶瓷腔体中并跟ASIC一起封装在塑料腔体中。
缺点:成本较高
Systron Donner “MICROGYRO”
二、博世BOSCH SMG 070
MEMS:平面MEMS;Z轴
信号处理:闭合回路;混合模式;自测试
缺点:尺寸太大
BOSCH SMG 070
BOSCH SMG 070原理图
三、INVENSENSE IDG 300
MEMS:体加工技术;用ASIC作封盖并提供收集和驱动信号的电极
信号处理:开路;模拟
缺点:无零点修正;温度导致+/-50度/秒的漂移。(汽车电子要求+/-1.5度/秒)
INVENSENSE IDG 300
INVENSENSE IDG 300 原理图